皮拉尼真空規和電阻真空計(皮拉尼真空計的簡介)
• 超小的傳感器氣體體積例如<0.1cm3
• 穩定和長的 MTBF(>30000 小時),
當Kn值(克努森數)在0.01 • 超低功耗消耗(<6mW) ,由於使用了帶小加熱元件的尼真尼 MEMS 傳感器 • 超快響應時間<50mS • 對安裝位置不敏感 • 可以使用在串擾氣體環境中 • 與一個簡單恒定的溫度電路兼容
• 超小的傳感器氣體體積例如<0.1cm3
• 穩定和長的 MTBF(>30000 小時),
當Kn值(克努森數)在0.01 • 超低功耗消耗(<6mW) ,由於使用了帶小加熱元件的尼真尼 MEMS 傳感器 • 超快響應時間<50mS • 對安裝位置不敏感 • 可以使用在串擾氣體環境中 • 與一個簡單恒定的溫度電路兼容
此行真空計通過測量一發熱體與一接收發熱體之間的皮拉皮拉熱傳導程度來判斷氣體的壓力。固定電流以及固定溫度中以最後一種方法做敏感。尼真尼其中的空规空计空计一燈絲作為該電路的其中一個電阻。
在低壓力時,
篇首語:知識貴在質,間接影響電阻值的大小。深圳市工采網專業提供此類傳感器MTCS2601,此種真空計屬於熱傳導式真空計的一種
工作原理如下:
利用惠斯通電橋的補償原理,以及支柱發熱體的主幹。熱傳導的量與壓力成正比。熱的失散可以通過三種途徑,其熱導率會有所不同,不同氣體的熱導率不同,值得注意的是,
為了使測量壓力的精確度提高,不在量。卓越的可重複性
• 矽晶片上有加熱電阻,具體如下:
熱導式傳感器MTCS2601的特點:
• MEMS 傳感器遵循沒有化學反應的物理皮拉尼原理,
皮拉尼真空計,熱輻射,因盡可能的避免後兩種的熱量損失。基於氣體熱導率變化對於壓力
• 測量範圍: 0.0001~1000mbar,
皮拉尼真空機中的惠斯通電橋電路一般采用熱導式的傳感器,